精品一区二区久久久久久久网站-女人扒开屁股桶爽30分钟-久久久无码精品亚洲日韩啪啪网站-来一水AV@lysav

技術(shù)文章

TECHNICAL ARTICLES

當(dāng)前位置:首頁技術(shù)文章全新臺(tái)式D6 PHASER應(yīng)用報(bào)告系列(七)— 掠入射衍射- X射線衍射XRD

全新臺(tái)式D6 PHASER應(yīng)用報(bào)告系列(七)— 掠入射衍射- X射線衍射XRD

更新時(shí)間:2024-11-20點(diǎn)擊次數(shù):223

掠入射衍射介紹

掠入射衍射(GID, Grazing incidence diffraction)是研究多晶薄膜的一種常用方法。薄膜樣品在Bragg-Brentano對(duì)稱衍射中通常表現(xiàn)出非常微弱的衍射信號(hào),原因在于X射線可穿透薄膜照射到底層襯底,由于襯底其較大的散射體積,導(dǎo)致其衍射信號(hào)在終端信號(hào)中占據(jù)主導(dǎo)地位。

然而,如果不是BB幾何的發(fā)散光路,而是一束細(xì)的平行光束照向樣品表面,這樣它只穿透薄膜而不穿透下方的襯底材料,那么來自薄膜的衍射信號(hào)則會(huì)成為主導(dǎo)。通過優(yōu)化平行光束的入射角度,可以將薄膜層的散射信號(hào)與襯底的散射信號(hào)解離開來(圖1)。

▲圖1. 在玻璃基板上沉積的20 nm氧化銦錫(ITO)層的DIFFRAC.EVA視圖。對(duì)稱的θ/θ掃描(橙色)可以看到明顯的

由玻璃基板主導(dǎo)的信號(hào),而ITO信號(hào)在0.3°固定入射角度下的GID掃描(藍(lán)色)中得到了很好的突出顯示。

D6 Phaser測試案例

D6 PHASER使用雙狹縫準(zhǔn)直裝置來產(chǎn)生平行X光束。X射線光管的線聚焦與較小的初級(jí)發(fā)散狹縫相結(jié)合,足以準(zhǔn)直形成具有合適平行度的X光束。另外,也可以使用小入射可變狹縫與可插入的第二狹縫的組合。通過使用通用樣品臺(tái)(圖2),平行光束相對(duì)于樣品表面的入射角可以在做探測器掃描時(shí)保持恒定。在衍射端D6 PHASER使用赤道索拉狹縫來限制探測器的角分辨率和光通量。所得的衍射數(shù)據(jù)可用于物相鑒定、殘余應(yīng)力分析及通過改變?nèi)肷浣沁M(jìn)行基于不同入射深度的物相分析。類似GID的非對(duì)稱衍射幾何,與對(duì)稱幾何不同,在數(shù)據(jù)采集過程衍射晶面沒有統(tǒng)一的取向。在較低的衍射角下,晶面法線接近樣品表面法線,而在高衍射角處,晶面法線則接近面內(nèi)方向。這可以用來分析由于襯底施加在薄膜上的應(yīng)變引起的晶格畸變。請(qǐng)注意,殘余應(yīng)力的測定和準(zhǔn)確度很大程度上依賴于衍射儀在較高角度下獲取高質(zhì)量衍射數(shù)據(jù)的能力。

▲圖2. D6 PHASER用于GID測試,配置包含可變發(fā)散狹縫模塊,通用樣品臺(tái)和安裝在LYNXEYE XE-T探測器前的次級(jí)水平Soller準(zhǔn)直器。

GID薄膜分析

圖3展示了對(duì)20 nm厚的鎢薄膜進(jìn)行GID掃描獲得譜圖的分析,數(shù)據(jù)測試時(shí)間為40分鐘,較高測試角度達(dá)到140°。除此之外,薄膜的厚度也可以用D6 PHASER精確測量,該結(jié)果已在之前的文章中進(jìn)行報(bào)道。在厚度小于幾十納米的薄膜半導(dǎo)體器件中,鎢被認(rèn)為是金屬材料銅的替代品。依賴于生長條件,這種空間受限可能導(dǎo)致薄膜存在明顯的殘余應(yīng)力,從而引發(fā)一些不良影響(如薄膜分層)。因此,對(duì)薄膜殘余應(yīng)力的評(píng)估至關(guān)重要,在某些情況下,應(yīng)力可達(dá)到GPa的級(jí)別。

鎢薄膜殘余應(yīng)力的評(píng)估是基于整個(gè)粉末衍射譜圖的分解,它使用了立方晶系的Im-3m空間群和額外的角度偏移,這些角度位移與(i)樣品表面X射線的折射效應(yīng)和(ii)晶格應(yīng)變有關(guān),引發(fā)了基于角度的峰位偏移,可由彈性理論(多重sin2ψ(hkl)方法)來進(jìn)行測定分析。結(jié)構(gòu)的精修使用DIFFRAC.TOPAS軟件進(jìn)行,顯示鎢薄層存在明顯的殘余應(yīng)力,約為-2.4 GPa。 

▲圖3. 使用DIFFRAC.TOPAS軟件對(duì)GID數(shù)據(jù)進(jìn)行精修。從殘差曲線可以看出,在精修模型中加入殘余應(yīng)力修正可以明顯提高W相(上方曲線)的擬合質(zhì)量。

結(jié)論

D6 PHASER衍射儀和DIFFRAC.TOPAS軟件是一個(gè)很好的組合,來對(duì)薄膜材料進(jìn)行掠入射分析,可以給出超越傳統(tǒng)定性相分析以外的定量結(jié)構(gòu)信息。

-轉(zhuǎn)載于《布魯克X射線部門》公眾號(hào)

掃一掃,關(guān)注公眾號(hào)

服務(wù)電話:

021-34685181 上海市松江區(qū)千帆路288弄G60科創(chuàng)云廊3號(hào)樓602室 wei.zhu@shuyunsh.com
Copyright © 2024束蘊(yùn)儀器(上海)有限公司 All Rights Reserved  備案號(hào):滬ICP備17028678號(hào)-2
最新精品国偷自产在线69| 欧美疯狂做受XXXXX高潮| 9孩岁女精品╳片| 久久久久无码专区亚洲AV| 交换俱乐部娇妻奶呻吟啊视频 | 熟妇人妻AV无码一区二区三区| 亚洲成AV人片在线观看无码| 性少妇FREESEXVIDEOS高清| AV无码免费一区二区三区| 男女猛烈激情XX00免费视频| 色欲AV伊人久久大香线蕉影院 | 免费A级毛片18禁网站免费| 久久亚洲AV无码西西人体 | 特黄三级又爽又粗又大| 人妻在厨房被色诱 中文字幕| 破了亲妺妺的处免费视频国产| 好吊视频一区二区三区| 国产精品成人无码免费| 又色又爽又黄的视频软件APP| 男男车车的车车网站W98免费| 精品人妻无码区二区三区| 国产AV无码专区亚洲AV| 黑人巨大JEEP日本人| 婷婷开心激情综合五月天| 中国老熟女重囗味HDXX| 成人做受视频试看60秒| 亚洲人成无码WWW久久久| 人妻少妇久久久久久97人妻| JIZZ性欧美2| 狠狠人妻久久久久久综合蜜桃| 成人无码精品1区2区3区免费看 | 乡下人产国偷V产偷V自拍| 性国产SE╳O色欲A片欢迎观看| 老师说我考好了就随便我怎样| 亚洲精品婷婷无码成人A片在线| 精品国产一区二区三区无码| 亚洲精品久久久久久中文| 亚洲午夜无码久久久久| 蜜臀AV在线播放| 无码毛片AAA在线| 久久久久人妻一区精品色|